层流压差流量计专为小流量气体设计(如半导体工艺中的氮气、氢气)。其核心是利用层流状态下的物理定律:当流体以平滑层状流动时,流量与压差呈线性关系,突破传统差压计的非线性限制,显著提升小流量精度。
关键技术特点:
线性响应:特殊流道结构消除非线性压力损失,实现高精度测量。
快速灵敏:极快响应速度,无需预热即可工作。
抗干扰设计:内置整流模块稳定流体状态,温度波动可自动补偿。
应用领域:
半导体制造:精密工艺中高纯度气体的微量控制。
生物反应器:无菌环境气体流量监测。
精密泄漏检测:工业零部件密封性测试。